ステージ形状のアクチュエータです。試料等を載せた精密位置決めに最適です。
主なアプリケーション
- 光学・レーザー部品の位置決め
- 光ファイバーの光軸合わせ
- ミラーの制御
- 摩擦試験
- 振動制御 など
MHS-Fシリーズ
- 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
- 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
- ストロークは20µm～120µmを選択できます。
- 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(垂直設置)
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MHS-F1 20 0.1 3800 16 – MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型 MHS-F2 40 0.2 1400 11 – MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型 MHS-F4 80 0.4 1100 10 – MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型 MHS-F6 120 0.6 1000 6.5 – MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型 関連製品
AEシリーズ MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MA-140シリーズ MFシリーズ MH-20XYD MWP-A30X MO-10XD- 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
- 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
- ストロークは20µm～120µmを選択できます。
- 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(垂直設置)
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MHS-F1 20 0.1 3800 16 – MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型 MHS-F2 40 0.2 1400 11 – MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型 MHS-F4 80 0.4 1100 10 – MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型 MHS-F6 120 0.6 1000 6.5 – MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型 関連製品
AEシリーズ MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MA-140シリーズ MFシリーズ MH-20XYD MWP-A30X MO-10XDMPS-C1X
- ピエゾアクチューエータを駆動源としストローク1500µmを発生します。
- 一体弾性ヒンジにより高速かつ高精度な位置決めが可能。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MPS-C1X 1500 1.5 100 0.1 – MPS-C1XC 1200 4 100 0.1 静電容量 関連製品
MZ-1300ZL MST-TA1202XD- ピエゾアクチューエータを駆動源としストローク1500µmを発生します。
- 一体弾性ヒンジにより高速かつ高精度な位置決めが可能。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MPS-C1X 1500 1.5 100 0.1 – MPS-C1XC 1200 4 100 0.1 静電容量 関連製品
MZ-1300ZL MST-TA1202XDMA-140シリーズ
- 小型(40×40mm) ながら変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメートル高分解能動作・ミリ秒高速応答・ローコスト。
- 1軸（X軸もしくはZ軸）のピエゾステージです。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MA-140XL 180 0.3 320 0.15 – MA-140XLS 152 2 320 0.15 ひずみゲージ MA-140XLC 152 1 320 0.15 静電容量 MA-140ZL 180 0.3 290 0.15 – MA-140ZLS 152 2 290 0.15 ひずみゲージ MA-140ZLC 152 1 290 0.15 静電容量 関連製品
MHS-F MC-10L MC-140L MI-100シリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ MFシリーズ- 小型(40×40mm) ながら変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメートル高分解能動作・ミリ秒高速応答・ローコスト。
- 1軸（X軸もしくはZ軸）のピエゾステージです。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MA-140XL 180 0.3 320 0.15 – MA-140XLS 152 2 320 0.15 ひずみゲージ MA-140XLC 152 1 320 0.15 静電容量 MA-140ZL 180 0.3 290 0.15 – MA-140ZLS 152 2 290 0.15 ひずみゲージ MA-140ZLC 152 1 290 0.15 静電容量 関連製品
MHS-F MC-10L MC-140L MI-100シリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ MFシリーズMI-100シリーズ
- 小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵し、ストローク100μmを出力。
- XY軸、XYZ軸の2タイプをご用意しています。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメートル高分解能動作・3軸ロングストローク・ローコスト。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
X/Y/Z (Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MI-100XYL 100 0.2 450/560/－ 0.3 – MI-100XYLS 80 2 450/560/－ 0.3 ひずみゲージ MI-100XYLC 80 1 520/650/－ 0.3 静電容量 MI-100XYZL 100 0.2 320/320/450 0.3 – MI-100XYZLS 80 2 320/320/450 0.3 ひずみゲージ MI-100XYZLC 80 1 430/430/430 0.3 静電容量 関連製品
MA-140シリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ ML-20XYL ML-90XYL- 小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵し、ストローク100μmを出力。
- XY軸、XYZ軸の2タイプをご用意しています。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメートル高分解能動作・3軸ロングストローク・ローコスト。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
X/Y/Z (Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MI-100XYL 100 0.2 450/560/－ 0.3 – MI-100XYLS 80 2 450/560/－ 0.3 ひずみゲージ MI-100XYLC 80 1 520/650/－ 0.3 静電容量 MI-100XYZL 100 0.2 320/320/450 0.3 – MI-100XYZLS 80 2 320/320/450 0.3 ひずみゲージ MI-100XYZLC 80 1 430/430/430 0.3 静電容量 関連製品
MA-140シリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ ML-20XYL ML-90XYL
