MSP-E1C（荷重制御ピエゾステージ）

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1・2・3軸ピエゾステージRoHS 10物質非含有
  • ピエゾステージにフォースセンサを内蔵しています。
  • ピエゾコントローラーと組合せて微小な荷重をコントロールすることが可能。
  • 可動軸はＺ軸です。
型式駆動電圧
(V)		ストローク
(μm)		分解能
(N)		レンジ
(N)		内蔵センサ
MSP-E1C-10~1504000.015
(感度 約2V/N)		静電容量
 
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(N)		内蔵センサ
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