- 20μm～120μmのストロークをご用意しています。
- 大きな質量を搭載しての高速動作が可能。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 高剛性・高精度位置分解能・ミリ秒高速応答・ローコスト。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MF-20XD | 20 | 0.1 | 1.4k | 29 | – |
| MF-20XDC | 16 | 0.4 | 1.4k | 29 | 静電容量 |
| MF-40XD | 40 | 0.2 | 1.4k | – | |
| MF-40XDC | 32 | 0.4 | 1.4k | – | 静電容量 |
| MF-60XD | 60 | 0.2 | 1.4k | 15 | – |
| MF-60XDC | 48 | 0.4 | 1.4k | 15 | 静電容量 |
| MF-120XD | 120 | 0.2 | 1.4k | 9 | – |
| MF-120XDC | 96 | 1 | 1.4k | 9 | 静電容量 |
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- 大きな質量を搭載しての高速動作が可能。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 高剛性・高精度位置分解能・ミリ秒高速応答・ローコスト。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MF-20XD | 20 | 0.1 | 1.4k | 29 | – |
| MF-20XDC | 16 | 0.4 | 1.4k | 29 | 静電容量 |
| MF-40XD | 40 | 0.2 | 1.4k | – | |
| MF-40XDC | 32 | 0.4 | 1.4k | – | 静電容量 |
| MF-60XD | 60 | 0.2 | 1.4k | 15 | – |
| MF-60XDC | 48 | 0.4 | 1.4k | 15 | 静電容量 |
| MF-120XD | 120 | 0.2 | 1.4k | 9 | – |
| MF-120XDC | 96 | 1 | 1.4k | 9 | 静電容量 |