MFシリーズ

RoHS 6物質非含有高速応答・高剛性ピエゾステージ
  • 20μm~120μmのストロークをご用意しています。
  • 大きな質量を搭載しての高速動作が可能。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 高剛性・高精度位置分解能・ミリ秒高速応答・ローコスト。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MF-20XD200.11.4k29
MF-20XDC160.41.4k29静電容量
MF-40XD400.21.4k
MF-40XDC320.41.4k静電容量
MF-60XD600.21.4k15
MF-60XDC480.41.4k15静電容量
MF-120XD1200.21.4k9
MF-120XDC9611.4k9静電容量

関連製品
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  • 高剛性・高精度位置分解能・ミリ秒高速応答・ローコスト。
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(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
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