- 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
- 変位の際に押し引きの力を発生できます。
- 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
- ストロークの15µm～90µmを選択できます。
- 変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MPA-UE1 | 15 | 0.1 | 13k | 704 | – |
| MPA-UE1S | 12 | 0.6 | 13k | 704 | ひずみゲージ |
| MPA-UE2 | 30 | 0.2 | 7.4k | 393 | – |
| MPA-UE2S | 24 | 0.6 | 7.4k | 393 | ひずみゲージ |
| MPA-UE3 | 45 | 0.3 | 5.2k | 276 | – |
| MPA-UE3S | 36 | 1 | 5.2k | 276 | ひずみゲージ |
| MPA-UE4 | 60 | 0.4 | 4k | 209 | – |
| MPA-UE4S | 48 | 1 | 4k | 209 | ひずみゲージ |
| MPA-UE5 | 75 | 0.5 | 3.2k | 169 | – |
| MPA-UE5S | 60 | 1 | 3.2k | 169 | ひずみゲージ |
| MPA-UE6 | 90 | 0.6 | 2.7k | 142 | – |
| MPA-UE6S | 72 | 1 | 2.7k | 142 | ひずみゲージ |
関連製品
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- 変位の際に押し引きの力を発生できます。
- 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
- ストロークの15µm～90µmを選択できます。
- 変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MPA-UE1 | 15 | 0.1 | 13k | 704 | – |
| MPA-UE1S | 12 | 0.6 | 13k | 704 | ひずみゲージ |
| MPA-UE2 | 30 | 0.2 | 7.4k | 393 | – |
| MPA-UE2S | 24 | 0.6 | 7.4k | 393 | ひずみゲージ |
| MPA-UE3 | 45 | 0.3 | 5.2k | 276 | – |
| MPA-UE3S | 36 | 1 | 5.2k | 276 | ひずみゲージ |
| MPA-UE4 | 60 | 0.4 | 4k | 209 | – |
| MPA-UE4S | 48 | 1 | 4k | 209 | ひずみゲージ |
| MPA-UE5 | 75 | 0.5 | 3.2k | 169 | – |
| MPA-UE5S | 60 | 1 | 3.2k | 169 | ひずみゲージ |
| MPA-UE6 | 90 | 0.6 | 2.7k | 142 | – |
| MPA-UE6S | 72 | 1 | 2.7k | 142 | ひずみゲージ |