MHS-Fシリーズ

1軸ピエゾアクチュエータ・ピエゾステージRoHS 6物質非含有
  • 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
  • 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
  • ストロークは20µm~120µmを選択できます。
  • 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(垂直設置)
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MHS-F1200.1380016
MHS-F1C160.5380016静電容量型
MHS-F2400.2140011
MHS-F2C320.5140011静電容量型
MHS-F4800.4110010
MHS-F4C640.8110010静電容量型
MHS-F61200.610006.5
MHS-F6C960.810006.5静電容量型
1軸ピエゾアクチュエータ・ピエゾステージRoHS 6物質非含有
  • 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
  • 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
  • ストロークは20µm~120µmを選択できます。
  • 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(垂直設置)
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MHS-F1200.1380016
MHS-F1C160.5380016静電容量型
MHS-F2400.2140011
MHS-F2C320.5140011静電容量型
MHS-F4800.4110010
MHS-F4C640.8110010静電容量型
MHS-F61200.610006.5
MHS-F6C960.810006.5静電容量型
このページの先頭へ戻る