MH-20XYD

RoHS 6物質非含有高速応答・高剛性ピエゾステージ
  • 高速応答性を重視したピエゾステージ。ストローク20μmを出力します。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 高剛性・ナノメートル位置分解能・ミリ秒高速応答
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(X/Y)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MH-20XYD200.23.5k / 3.0k150
MH-20XYDC1613.5k / 3.0k150静電容量

関連製品
MHS-F MFシリーズ MWP-A30X MO-10XD
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  • 高速応答性を重視したピエゾステージ。ストローク20μmを出力します。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 高剛性・ナノメートル位置分解能・ミリ秒高速応答
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(X/Y)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MH-20XYD200.23.5k / 3.0k150
MH-20XYDC1613.5k / 3.0k150静電容量

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