MO-10XD

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加工機用耐油ピエゾステージRoHS 10物質非含有

精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。
ピエゾアクチューエータを内蔵し1軸ストローク15μmを発生します。
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。

型式	ストローク (μm)	分解能 (nm)	共振周波数 (Hz)	剛性 (N/μm)	内蔵センサ
MO-10XD	15	0.1	4.5k	55	–
MO-10XDC	12	1	4.5k	55	静電容量

関連製品

MHS-F MFシリーズ MH-20XYD MWP-A30X

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ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。

型式	ストローク (μm)	分解能 (nm)	共振周波数 (Hz)	剛性 (N/μm)	内蔵センサ
MO-10XD	15	0.1	4.5k	55	–
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