MO-10XD

加工機用耐油ピエゾステージ
  • 精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。
  • ピエゾアクチューエータを内蔵し1軸ストローク15μmを発生します。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MO-10XD150.14.5k55
MO-10XDC1214.5k55静電容量

関連製品
MHS-F MFシリーズ MH-20XYD MWP-A30X
加工機用耐油ピエゾステージ
  • 精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。
  • ピエゾアクチューエータを内蔵し1軸ストローク15μmを発生します。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MO-10XD150.14.5k55
MO-10XDC1214.5k55静電容量

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