剛性の高いステージ形状のアクチュエータです。高速でのスキャニング、大質量ワークの位置決めに最適です。
主なアプリケーション
- 加工用バイト高速位置決め
- 高速応答 大発生力を利用した振動制御
- 大質量ワークの位置決め
- 各種スキャニング検査装置
- HDD検査装置
- 半導体関連検査装置 など
MHS-Fシリーズ
- 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
- 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
- ストロークは20µm～120µmを選択できます。
- 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(垂直設置)
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MHS-F1 20 0.1 3800 16 – MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型 MHS-F2 40 0.2 1400 11 – MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型 MHS-F4 80 0.4 1100 10 – MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型 MHS-F6 120 0.6 1000 6.5 – MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型 関連製品
AEシリーズ MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MA-140シリーズ MFシリーズ MH-20XYD MWP-A30X MO-10XD- 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
- 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
- ストロークは20µm～120µmを選択できます。
- 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(垂直設置)
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MHS-F1 20 0.1 3800 16 – MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型 MHS-F2 40 0.2 1400 11 – MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型 MHS-F4 80 0.4 1100 10 – MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型 MHS-F6 120 0.6 1000 6.5 – MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型 関連製品
AEシリーズ MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MA-140シリーズ MFシリーズ MH-20XYD MWP-A30X MO-10XDMFシリーズ
- 20μm～120μmのストロークをご用意しています。
- 大きな質量を搭載しての高速動作が可能。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 高剛性・高精度位置分解能・ミリ秒高速応答・ローコスト。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MF-20XD 20 0.1 1.4k 29 – MF-20XDC 16 0.4 1.4k 29 静電容量 MF-40XD 40 0.2 1.4k – MF-40XDC 32 0.4 1.4k – 静電容量 MF-60XD 60 0.2 1.4k 15 – MF-60XDC 48 0.4 1.4k 15 静電容量 MF-120XD 120 0.2 1.4k 9 – MF-120XDC 96 1 1.4k 9 静電容量 関連製品
MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MHS-F MH-20XYD MWP-A30X MO-10XD- 20μm～120μmのストロークをご用意しています。
- 大きな質量を搭載しての高速動作が可能。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 高剛性・高精度位置分解能・ミリ秒高速応答・ローコスト。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MF-20XD 20 0.1 1.4k 29 – MF-20XDC 16 0.4 1.4k 29 静電容量 MF-40XD 40 0.2 1.4k – MF-40XDC 32 0.4 1.4k – 静電容量 MF-60XD 60 0.2 1.4k 15 – MF-60XDC 48 0.4 1.4k 15 静電容量 MF-120XD 120 0.2 1.4k 9 – MF-120XDC 96 1 1.4k 9 静電容量 関連製品
MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MHS-F MH-20XYD MWP-A30X MO-10XDMH-20XYD
