MA-140シリーズ

RoHS 6物質非含有1・2・3軸ピエゾステージ
  • 小型(40×40mm) ながら変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメートル高分解能動作・ミリ秒高速応答・ローコスト。
  • 1軸(X軸もしくはZ軸)のピエゾステージです。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MA-140XL1800.33200.15
MA-140XLS15223200.15ひずみゲージ
MA-140XLC15213200.15静電容量
MA-140ZL1800.32900.15
MA-140ZLS15222900.15ひずみゲージ
MA-140ZLC15212900.15静電容量
RoHS 6物質非含有1・2・3軸ピエゾステージ
  • 小型(40×40mm) ながら変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメートル高分解能動作・ミリ秒高速応答・ローコスト。
  • 1軸(X軸もしくはZ軸)のピエゾステージです。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MA-140XL1800.33200.15
MA-140XLS15223200.15ひずみゲージ
MA-140XLC15213200.15静電容量
MA-140ZL1800.32900.15
MA-140ZLS15222900.15ひずみゲージ
MA-140ZLC15212900.15静電容量
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