- 小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵し、ストローク100μmを出力。
- XY軸、XYZ軸の2タイプをご用意しています。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメートル高分解能動作・3軸ロングストローク・ローコスト。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 X/Y/Z (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MI-100XYL | 100 | 0.2 | 450/560/－ | 0.3 | – |
| MI-100XYLS | 80 | 2 | 450/560/－ | 0.3 | ひずみゲージ |
| MI-100XYLC | 80 | 1 | 520/650/－ | 0.3 | 静電容量 |
| MI-100XYZL | 100 | 0.2 | 320/320/450 | 0.3 | – |
| MI-100XYZLS | 80 | 2 | 320/320/450 | 0.3 | ひずみゲージ |
| MI-100XYZLC | 80 | 1 | 430/430/430 | 0.3 | 静電容量 |
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- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメートル高分解能動作・3軸ロングストローク・ローコスト。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 X/Y/Z (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MI-100XYL | 100 | 0.2 | 450/560/－ | 0.3 | – |
| MI-100XYLS | 80 | 2 | 450/560/－ | 0.3 | ひずみゲージ |
| MI-100XYLC | 80 | 1 | 520/650/－ | 0.3 | 静電容量 |
| MI-100XYZL | 100 | 0.2 | 320/320/450 | 0.3 | – |
| MI-100XYZLS | 80 | 2 | 320/320/450 | 0.3 | ひずみゲージ |
| MI-100XYZLC | 80 | 1 | 430/430/430 | 0.3 | 静電容量 |