MI-100シリーズ

RoHS 6物質非含有1・2・3軸ピエゾステージ
  • 小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵し、ストローク100μmを出力。
  • XY軸、XYZ軸の2タイプをご用意しています。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメートル高分解能動作・3軸ロングストローク・ローコスト。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
X/Y/Z (Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MI-100XYL1000.2450/560/-0.3
MI-100XYLS802450/560/-0.3ひずみゲージ
MI-100XYLC801520/650/-0.3静電容量
MI-100XYZL1000.2320/320/4500.3
MI-100XYZLS802320/320/4500.3ひずみゲージ
MI-100XYZLC801430/430/4300.3静電容量
RoHS 6物質非含有1・2・3軸ピエゾステージ
  • 小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵し、ストローク100μmを出力。
  • XY軸、XYZ軸の2タイプをご用意しています。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメートル高分解能動作・3軸ロングストローク・ローコスト。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
X/Y/Z (Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MI-100XYL1000.2450/560/-0.3
MI-100XYLS802450/560/-0.3ひずみゲージ
MI-100XYLC801520/650/-0.3静電容量
MI-100XYZL1000.2320/320/4500.3
MI-100XYZLS802320/320/4500.3ひずみゲージ
MI-100XYZLC801430/430/4300.3静電容量
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