ML-90シリーズ

RoHS 6物質非含有1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
  • XY軸に90μmのストロークを出力。
  • 8mmの薄型、可動部には20mmの透過窓口。
  • 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(X/Y) (Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
ML-90XYL900.2450 / 5300.15
ML-90XYLC721.5450 / 5300.15静電容量
RoHS 6物質非含有1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
  • XY軸に90μmのストロークを出力。
  • 8mmの薄型、可動部には20mmの透過窓口。
  • 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(X/Y) (Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
ML-90XYL900.2450 / 5300.15
ML-90XYLC721.5450 / 5300.15静電容量
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