MAP-BA4Zシリーズ

RoHS 6物質非含有1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
  • 可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます。
  • 高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできます。
  • 変位拡大機構を内蔵しており、薄型ながらストローク100µmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。
  • 長期間にわたりメンテナンス不要。
  • 変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数X/Y/Z
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MAP-BA4Z1000.17303
MAP-BA4ZS8527303ひずみゲージ
MAP-BA4ZC850.97303静電容量
RoHS 6物質非含有1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
  • 可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます。
  • 高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできます。
  • 変位拡大機構を内蔵しており、薄型ながらストローク100µmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。
  • 長期間にわたりメンテナンス不要。
  • 変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数X/Y/Z
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MAP-BA4Z1000.17303
MAP-BA4ZS8527303ひずみゲージ
MAP-BA4ZC850.97303静電容量
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