ステージ形状のアクチュエータです。透過窓が付いている為、光学の検査装置、顕微鏡の試料観察等に使用可能です。
主なアプリケーション
- 顕微鏡を使用したバイオテクノロジー
- 各種スキャニング検査装置
- 分光分析
- 半導体関連検査装置 など
MAP-BA4Zシリーズ
- 可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます。
- 高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできます。
- 変位拡大機構を内蔵しており、薄型ながらストローク100µmを出力。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。
- 長期間にわたりメンテナンス不要。
- 変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数X/Y/Z
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MAP-BA4Z 100 0.1 730 3 – MAP-BA4ZS 85 2 730 3 ひずみゲージ MAP-BA4ZC 85 0.9 730 3 静電容量 関連製品
MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ ML-20XYL ML-90XYL MVシリーズ- 可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入できます。
- 高剛性なため大質量のワークを高速位置決めできます。
- 変位拡大機構を内蔵しており、薄型ながらストローク100µmを出力。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない高精度な動作を実現。
- 長期間にわたりメンテナンス不要。
- 変位センサー内蔵タイプは変位クローズド制御により高精度な位置決めができます。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数X/Y/Z
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MAP-BA4Z 100 0.1 730 3 – MAP-BA4ZS 85 2 730 3 ひずみゲージ MAP-BA4ZC 85 0.9 730 3 静電容量 関連製品
MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ ML-20XYL ML-90XYL MVシリーズMB-10シリーズ
- 小型(40×40mm)ながら3軸変位拡大機構を内蔵しストローク10μmを出力します(1軸、2軸タイプもご用意)
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答・ローコスト。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
X/Y/Z (Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MB-10XL 12 0.1 560/-/- 0.25 – MB-10ZL 12 0.1 -/-/480 0.25 – MB-10XYL 12 0.1 440/490/- 0.25 – MB-10XZL 12 0.1 420/-/410 0.25 – MB-10XYZL 12 0.1 340/420/340 0.25 – 関連製品
MA-140シリーズ MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MAP-Fシリーズ ML-20XYL ML-90XYL MVシリーズ- 小型(40×40mm)ながら3軸変位拡大機構を内蔵しストローク10μmを出力します(1軸、2軸タイプもご用意)
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答・ローコスト。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
X/Y/Z (Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MB-10XL 12 0.1 560/-/- 0.25 – MB-10ZL 12 0.1 -/-/480 0.25 – MB-10XYL 12 0.1 440/490/- 0.25 – MB-10XZL 12 0.1 420/-/410 0.25 – MB-10XYZL 12 0.1 340/420/340 0.25 – 関連製品
MA-140シリーズ MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MAP-Fシリーズ ML-20XYL ML-90XYL MVシリーズMAP-Fシリーズ
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- 180μｍストロークでナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。
型式/可動軸 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
X/Y/Z (Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MAP-F11/X軸 180 0.3 240/-/- 0.15 – MAP-F11S/X軸 152 2 240/-/- 0.15 ひずみゲージ MAP-F11C/X軸 152 1 240/-/- 0.15 静電容量型 MAP-F12 /Z軸 180 0.3 -/-/210 0.15 – MAP-F12S/Z軸 152 2 -/-/210 0.15 ひずみゲージ MAP-F12C/Z軸 152 1 -/-/210 0.15 静電容量型 MAP-F21 /XY軸 180 0.3 180/180/- 0.15 – MAP-F21S/XY軸 152 2 180/180/- 0.15 ひずみゲージ MAP-F21C/XY軸 152 1 180/180/- 0.15 静電容量型 MAP-F22 /XZ軸 180 0.3 180/-/180 0.15 – MAP-F22S/XZ軸 152 2 180/-/180 0.15 ひずみゲージ MAP-F22C/XZ軸 152 1 180/-/180 0.15 静電容量型 MAP-F3 /XYZ軸 180 0.3 230/180/140 0.15 – MAP-F3S/XYZ軸 152 2 230/180/140 0.15 ひずみゲージ MAP-F3C/XYZ軸 152 1 230/180/140 0.15 静電容量型 関連製品
MA-140シリーズ MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ ML-20XYL ML-90XYL MVシリーズ- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- 180μｍストロークでナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。
型式/可動軸 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
X/Y/Z (Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MAP-F11/X軸 180 0.3 240/-/- 0.15 – MAP-F11S/X軸 152 2 240/-/- 0.15 ひずみゲージ MAP-F11C/X軸 152 1 240/-/- 0.15 静電容量型 MAP-F12 /Z軸 180 0.3 -/-/210 0.15 – MAP-F12S/Z軸 152 2 -/-/210 0.15 ひずみゲージ MAP-F12C/Z軸 152 1 -/-/210 0.15 静電容量型 MAP-F21 /XY軸 180 0.3 180/180/- 0.15 – MAP-F21S/XY軸 152 2 180/180/- 0.15 ひずみゲージ MAP-F21C/XY軸 152 1 180/180/- 0.15 静電容量型 MAP-F22 /XZ軸 180 0.3 180/-/180 0.15 – MAP-F22S/XZ軸 152 2 180/-/180 0.15 ひずみゲージ MAP-F22C/XZ軸 152 1 180/-/180 0.15 静電容量型 MAP-F3 /XYZ軸 180 0.3 230/180/140 0.15 – MAP-F3S/XYZ軸 152 2 230/180/140 0.15 ひずみゲージ MAP-F3C/XYZ軸 152 1 230/180/140 0.15 静電容量型 関連製品
MA-140シリーズ MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ ML-20XYL ML-90XYL MVシリーズML-20XYL
- XY軸に20μmのストロークを出力。
- 6mmの薄型、可動部には15mmの透過窓口。
- 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ ML-20XYL 20 0.2 2.1k 0.8 – ML-20XYLC 16 0.5 2.1k 0.8 静電容量 関連製品
MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ ML-90XYL- XY軸に20μmのストロークを出力。
- 6mmの薄型、可動部には15mmの透過窓口。
- 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ ML-20XYL 20 0.2 2.1k 0.8 – ML-20XYLC 16 0.5 2.1k 0.8 静電容量 関連製品
MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ ML-90XYLML-90XZYL
- XY軸に90μmのストロークを出力。
- 8mmの薄型、可動部には20mmの透過窓口。
- 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(X/Y) (Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ ML-90XYL 90 0.2 450 / 530 0.15 – ML-90XYLC 72 1.5 450 / 530 0.15 静電容量 関連製品
MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ ML-20XYL- XY軸に90μmのストロークを出力。
- 8mmの薄型、可動部には20mmの透過窓口。
- 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(X/Y) (Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ ML-90XYL 90 0.2 450 / 530 0.15 – ML-90XYLC 72 1.5 450 / 530 0.15 静電容量 関連製品
MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ ML-20XYL
