- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- 180μｍストロークでナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。
| 型式/可動軸 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 X/Y/Z (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MAP-F11/X軸 | 180 | 0.3 | 240/-/- | 0.15 | – |
| MAP-F11S/X軸 | 152 | 2 | 240/-/- | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F11C/X軸 | 152 | 1 | 240/-/- | 0.15 | 静電容量型 |
| MAP-F12 /Z軸 | 180 | 0.3 | -/-/210 | 0.15 | – |
| MAP-F12S/Z軸 | 152 | 2 | -/-/210 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F12C/Z軸 | 152 | 1 | -/-/210 | 0.15 | 静電容量型 |
| MAP-F21 /XY軸 | 180 | 0.3 | 180/180/- | 0.15 | – |
| MAP-F21S/XY軸 | 152 | 2 | 180/180/- | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F21C/XY軸 | 152 | 1 | 180/180/- | 0.15 | 静電容量型 |
| MAP-F22 /XZ軸 | 180 | 0.3 | 180/-/180 | 0.15 | – |
| MAP-F22S/XZ軸 | 152 | 2 | 180/-/180 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F22C/XZ軸 | 152 | 1 | 180/-/180 | 0.15 | 静電容量型 |
| MAP-F3 /XYZ軸 | 180 | 0.3 | 230/180/140 | 0.15 | – |
| MAP-F3S/XYZ軸 | 152 | 2 | 230/180/140 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F3C/XYZ軸 | 152 | 1 | 230/180/140 | 0.15 | 静電容量型 |
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- 180μｍストロークでナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。
| 型式/可動軸 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 X/Y/Z (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MAP-F11/X軸 | 180 | 0.3 | 240/-/- | 0.15 | – |
| MAP-F11S/X軸 | 152 | 2 | 240/-/- | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F11C/X軸 | 152 | 1 | 240/-/- | 0.15 | 静電容量型 |
| MAP-F12 /Z軸 | 180 | 0.3 | -/-/210 | 0.15 | – |
| MAP-F12S/Z軸 | 152 | 2 | -/-/210 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F12C/Z軸 | 152 | 1 | -/-/210 | 0.15 | 静電容量型 |
| MAP-F21 /XY軸 | 180 | 0.3 | 180/180/- | 0.15 | – |
| MAP-F21S/XY軸 | 152 | 2 | 180/180/- | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F21C/XY軸 | 152 | 1 | 180/180/- | 0.15 | 静電容量型 |
| MAP-F22 /XZ軸 | 180 | 0.3 | 180/-/180 | 0.15 | – |
| MAP-F22S/XZ軸 | 152 | 2 | 180/-/180 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F22C/XZ軸 | 152 | 1 | 180/-/180 | 0.15 | 静電容量型 |
| MAP-F3 /XYZ軸 | 180 | 0.3 | 230/180/140 | 0.15 | – |
| MAP-F3S/XYZ軸 | 152 | 2 | 230/180/140 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MAP-F3C/XYZ軸 | 152 | 1 | 230/180/140 | 0.15 | 静電容量型 |