MAP-Fシリーズ

RoHS 6物質非含有1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 180μmストロークでナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。
型式/可動軸ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
X/Y/Z (Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MAP-F11/X軸1800.3240/-/-0.15
MAP-F11S/X軸1522240/-/-0.15ひずみゲージ
MAP-F11C/X軸1521240/-/-0.15静電容量型
MAP-F12 /Z軸1800.3-/-/2100.15
MAP-F12S/Z軸1522-/-/2100.15ひずみゲージ
MAP-F12C/Z軸1521-/-/2100.15静電容量型
MAP-F21 /XY軸1800.3180/180/-0.15
MAP-F21S/XY軸1522180/180/-0.15ひずみゲージ
MAP-F21C/XY軸1521180/180/-0.15静電容量型
MAP-F22 /XZ軸1800.3180/-/1800.15
MAP-F22S/XZ軸1522180/-/1800.15ひずみゲージ
MAP-F22C/XZ軸1521180/-/1800.15静電容量型
MAP-F3 /XYZ軸1800.3230/180/1400.15
MAP-F3S/XYZ軸1522230/180/1400.15ひずみゲージ
MAP-F3C/XYZ軸1521230/180/1400.15静電容量型

関連製品
MA-140シリーズ MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ ML-20XYL ML-90XYL MVシリーズ
RoHS 6物質非含有1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 複数の製品を組み合わせることでXYZ軸など多軸の構成も可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 180μmストロークでナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。
型式/可動軸ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
X/Y/Z (Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MAP-F11/X軸1800.3240/-/-0.15
MAP-F11S/X軸1522240/-/-0.15ひずみゲージ
MAP-F11C/X軸1521240/-/-0.15静電容量型
MAP-F12 /Z軸1800.3-/-/2100.15
MAP-F12S/Z軸1522-/-/2100.15ひずみゲージ
MAP-F12C/Z軸1521-/-/2100.15静電容量型
MAP-F21 /XY軸1800.3180/180/-0.15
MAP-F21S/XY軸1522180/180/-0.15ひずみゲージ
MAP-F21C/XY軸1521180/180/-0.15静電容量型
MAP-F22 /XZ軸1800.3180/-/1800.15
MAP-F22S/XZ軸1522180/-/1800.15ひずみゲージ
MAP-F22C/XZ軸1521180/-/1800.15静電容量型
MAP-F3 /XYZ軸1800.3230/180/1400.15
MAP-F3S/XYZ軸1522230/180/1400.15ひずみゲージ
MAP-F3C/XYZ軸1521230/180/1400.15静電容量型

関連製品
MA-140シリーズ MI-100シリーズ MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ ML-20XYL ML-90XYL MVシリーズ
このページの先頭へ戻る