- 小型(40×40mm)ながら3軸変位拡大機構を内蔵しストローク10μmを出力します(1軸、2軸タイプもご用意)
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答・ローコスト。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 X/Y/Z (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MB-10XL | 12 | 0.1 | 560/-/- | 0.25 | – |
| MB-10ZL | 12 | 0.1 | -/-/480 | 0.25 | – |
| MB-10XYL | 12 | 0.1 | 440/490/- | 0.25 | – |
| MB-10XZL | 12 | 0.1 | 420/-/410 | 0.25 | – |
| MB-10XYZL | 12 | 0.1 | 340/420/340 | 0.25 | – |
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- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
- ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答・ローコスト。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 X/Y/Z (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MB-10XL | 12 | 0.1 | 560/-/- | 0.25 | – |
| MB-10ZL | 12 | 0.1 | -/-/480 | 0.25 | – |
| MB-10XYL | 12 | 0.1 | 440/490/- | 0.25 | – |
| MB-10XZL | 12 | 0.1 | 420/-/410 | 0.25 | – |
| MB-10XYZL | 12 | 0.1 | 340/420/340 | 0.25 | – |