MB-10シリーズ

RoHS 6物質非含有1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
  • 小型(40×40mm)ながら3軸変位拡大機構を内蔵しストローク10μmを出力します(1軸、2軸タイプもご用意)
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答・ローコスト。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
X/Y/Z (Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MB-10XL120.1560/-/-0.25
MB-10ZL120.1-/-/4800.25
MB-10XYL120.1440/490/-0.25
MB-10XZL120.1420/-/4100.25
MB-10XYZL120.1340/420/3400.25
RoHS 6物質非含有1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
  • 小型(40×40mm)ながら3軸変位拡大機構を内蔵しストローク10μmを出力します(1軸、2軸タイプもご用意)
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、メンテナンスは不要です。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
  • ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答・ローコスト。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
X/Y/Z (Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MB-10XL120.1560/-/-0.25
MB-10ZL120.1-/-/4800.25
MB-10XYL120.1440/490/-0.25
MB-10XZL120.1420/-/4100.25
MB-10XYZL120.1340/420/3400.25
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