MC-140L

1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
  • 積層ピエゾ素子を一体弾性ヒンジ機構に組込んだアクチュエーター。
  • 装置組込に特化した小型設計。
  • 摩擦のない動作により、メンテナンスフリーで長寿命。
  • 真直性に優れます。
  • 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
  • ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現します。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MC-140L1800.25000.15
1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
  • 積層ピエゾ素子を一体弾性ヒンジ機構に組込んだアクチュエーター。
  • 装置組込に特化した小型設計。
  • 摩擦のない動作により、メンテナンスフリーで長寿命。
  • 真直性に優れます。
  • 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
  • ナノメーター高分解能動作とミリ秒高速応答を実現します。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MC-140L1800.25000.15
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