装置の組込み等に最適な１軸アクチュエータです。
主なアプリケーション
- 対象物の精密位置決め全般
- 振動制御 など
MPA-S1
MPA-R1
MPA-G2
MHS-Fシリーズ
- 一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニット。
- 高剛性・高速応答・真直度・小型・高精度変位センサを内蔵可能。
- ストロークは20µm～120µmを選択できます。
- 静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(垂直設置)
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MHS-F1 20 0.1 3800 16 – MHS-F1C 16 0.5 3800 16 静電容量型 MHS-F2 40 0.2 1400 11 – MHS-F2C 32 0.5 1400 11 静電容量型 MHS-F4 80 0.4 1100 10 – MHS-F4C 64 0.8 1100 10 静電容量型 MHS-F6 120 0.6 1000 6.5 – MHS-F6C 96 0.8 1000 6.5 静電容量型 関連製品
AEシリーズ MPA-UA MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MA-140シリーズ MFシリーズ MH-20XYD MWP-A30X MO-10XDMPA-UAシリーズ
- 積層圧電素子をねじ穴付きケースに入れて予備圧縮力を与えた基本ユニットです。
- 変位の際に押し引きの力を発生できます。
- 低コスト・小型なので機器への組込みに適します。
- ストロークの20µm～120µmを選択できます。
- 変位センサ・温度センサをオプション設定。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MPA-UA1 20 0.1 16k 32 – MPA-UA1S 16 0.6 16k 32 ひずみゲージ MPA-UA2 40 0.2 8.5k 19 – MPA-UA2S 32 0.6 8.5k 19 ひずみゲージ MPA-UA3 60 0.3 6k 13 – MPA-UA3S 48 1 6k 13 ひずみゲージ MPA-UA4 80 0.4 4.5k 10 – MPA-UA4S 64 1 4.5k 10 ひずみゲージ MPA-UA5 100 0.5 3.5k 8 – MPA-UA5S 80 1 3.5k 8 ひずみゲージ MPA-UA6 120 0.6 3k 6.5 – MPA-UA6S 96 1 3k 6.5 ひずみゲージ 関連製品
AEシリーズ MPA-UB MPA-UC MPA-UD MPA-UE MPA-KB MPA-G2 MPA-MC4 MHS-F MC-10L MC-140L
