MZ-1300ZL

1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
  • 1300μmのロングストロークを出力。
  • 変位軸方向にコンパクトな設計(高さ38mm)ながら大変位を出力。
  • 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、真直性に優れます。
  • 外部に変位センサーを設置して変位クローズド制御することも可能です。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MZ-1300ZL13000.51800.26
1軸ピエゾアクチュエータRoHS 6物質非含有
  • 1300μmのロングストロークを出力。
  • 変位軸方向にコンパクトな設計(高さ38mm)ながら大変位を出力。
  • 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、真直性に優れます。
  • 外部に変位センサーを設置して変位クローズド制御することも可能です。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MZ-1300ZL13000.51800.26
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