- 1000μmのロングストロークを出力。
- 変位軸方向にコンパクトな設計（高さ38mm）ながら大変位を出力。
- 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、真直性に優れます。
- 外部に変位センサーを設置して変位クローズド制御することも可能です。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MZ-1300ZL | 1000 | 0.5 | 180 | 0.26 | – |
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MPS-C1X MST-TA1202XD- 1000μmのロングストロークを出力。
- 変位軸方向にコンパクトな設計（高さ38mm）ながら大変位を出力。
- 変位拡大機構により大きなストロークを発生します。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、真直性に優れます。
- 外部に変位センサーを設置して変位クローズド制御することも可能です。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MZ-1300ZL | 1000 | 0.5 | 180 | 0.26 | – |