MPS-C1X

RoHS 6物質非含有1・2・3軸ピエゾステージ
  • ピエゾアクチューエータを駆動源としストローク2000µmを発生します。
  • 一体弾性ヒンジにより高速かつ高精度な位置決めが可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MPS-C1X20001.51000.1
MPS-C1XC160041000.1静電容量
RoHS 6物質非含有1・2・3軸ピエゾステージ
  • ピエゾアクチューエータを駆動源としストローク2000µmを発生します。
  • 一体弾性ヒンジにより高速かつ高精度な位置決めが可能。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラとの組合せで極めて高精度な位置決めが可能。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MPS-C1X20001.51000.1
MPS-C1XC160041000.1静電容量
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