- サブμｍのステップ変位繰り返しで最大ストローク12mm(X)
- リニアガイド機構により、ステージ移動中ほとんどブレずに光学部品等の位置調整可能。
- kgレベルの重量物も搭載可能。
- ストローク、サイズ等、用途に合わせたカスタマイズにも対応可能。
- 専用コントローラ M-26122+M-9219
| 型式 | ストローク (μm) | 最小ステップ (μm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MST-TA1202XD | 12000 | 0.1 | – | – | – |
| MST-TA1202XDE | 12000 | 0.1 | – | – | Encoder |
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- kgレベルの重量物も搭載可能。
- ストローク、サイズ等、用途に合わせたカスタマイズにも対応可能。
- 専用コントローラ M-26122+M-9219
| 型式 | ストローク (μm) | 最小ステップ (μm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MST-TA1202XD | 12000 | 0.1 | – | – | – |
| MST-TA1202XDE | 12000 | 0.1 | – | – | Encoder |