MTL-F1

チルト機構付ステージRoHS 6物質非含有
  • 積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。
  • 高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性。小型な筐体。
  • ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。
  • 一体弾性ヒンジによる精密動作。
  • ミラーなし、ミラー付きを選択可能。
  • *MTL-F1 、MTL-F1S (ミラーなし)
  • *MTL-F1M1、MTL-F1SM1(ミラーφ12.5含む)
  • *MTL-F1M2、MTL-F1SM2(ミラーφ25含む)
型式振れ角
(mrad)
分解能
(μrad)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MTL-F1440.10.83k
MTL-F1M1440.10.8k
MTL-F1M2440.10.6k
MTL-F1S350.50.83kひずみゲージ
MTL-F1SM1350.50.8kひずみゲージ
MTL-F1SM2350.50.6kひずみゲージ

関連製品
MTL-E1-M MQ-2TXYD MP-5TYZL
チルト機構付ステージRoHS 6物質非含有
  • 積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。
  • 高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性。小型な筐体。
  • ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。
  • 一体弾性ヒンジによる精密動作。
  • ミラーなし、ミラー付きを選択可能。
  • *MTL-F1 、MTL-F1S (ミラーなし)
  • *MTL-F1M1、MTL-F1SM1(ミラーφ12.5含む)
  • *MTL-F1M2、MTL-F1SM2(ミラーφ25含む)
型式振れ角
(mrad)
分解能
(μrad)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MTL-F1440.10.83k
MTL-F1M1440.10.8k
MTL-F1M2440.10.6k
MTL-F1S350.50.83kひずみゲージ
MTL-F1SM1350.50.8kひずみゲージ
MTL-F1SM2350.50.6kひずみゲージ

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