MTL-E1-M

RoHS 6物質非含有チルト機構付ステージ
  • 高速応答性を高めた回転軸ピエゾステージ。
  • 一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が高いです。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式振れ角
(μrad)
分解能
(μrad)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MTL-E1-M4500.0046000
MTL-E1C-M3600.26000静電容量
RoHS 6物質非含有チルト機構付ステージ
  • 高速応答性を高めた回転軸ピエゾステージ。
  • 一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が高いです。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式振れ角
(μrad)
分解能
(μrad)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MTL-E1-M4500.0046000
MTL-E1C-M3600.26000静電容量
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