MP-5TYZL

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チルト機構付ステージRoHS 10物質非含有
  • ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度6mradを発生。θy・θzの2軸駆動。
  • 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 2軸振れ角6mrad・高精度位置分解能・高速応答
型式振れ角
(mrad)		分解能
(μrad)		共振周波数
(Hz)		剛性
(N/μm)		内蔵センサ
MP-5TYZL60.02370––
MP-5TYZLS4.80.1370–ひずみゲージ
MP-5TYZLC4.80.1370–静電容量

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