MP-5TYZL

RoHS 6物質非含有チルト機構付ステージ
  • ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度6mradを発生。θy・θzの2軸駆動。
  • 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 2軸振れ角6mrad・高精度位置分解能・高速応答
型式振れ角
(mrad)
分解能
(μrad)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MP-5TYZL60.02370
MP-5TYZLS4.80.1370ひずみゲージ
MP-5TYZLC4.80.1370静電容量
RoHS 6物質非含有チルト機構付ステージ
  • ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度6mradを発生。θy・θzの2軸駆動。
  • 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
  • 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで極めて高精度な位置決めが可能。
  • 2軸振れ角6mrad・高精度位置分解能・高速応答
型式振れ角
(mrad)
分解能
(μrad)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MP-5TYZL60.02370
MP-5TYZLS4.80.1370ひずみゲージ
MP-5TYZLC4.80.1370静電容量
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