MQ-2TXYD

RoHS 6物質非含有チルト機構付ステージ
2軸チルトステージ MQ-2TXYD
  • ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度3mradを発生。θx・θyの2軸駆動。
  • 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
  • 高精度位置分解能・ミリ秒高速応答
型式振れ角
(mrad)
分解能
(μrad)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/um)
内蔵センサ
MQ-2TXYD30.023.1k
MQ-2TXYDS2.40.043.1kひずみゲージ
RoHS 6物質非含有チルト機構付ステージ
2軸チルトステージ MQ-2TXYD
  • ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度3mradを発生。θx・θyの2軸駆動。
  • 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
  • 高精度位置分解能・ミリ秒高速応答
型式振れ角
(mrad)
分解能
(μrad)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/um)
内蔵センサ
MQ-2TXYD30.023.1k
MQ-2TXYDS2.40.043.1kひずみゲージ
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