M-26110-3TL

ピエゾドライバ(オープンループ制御)
  • ピエゾドライバM-26110をベースとしたチルトステージ機構付きステージ用の製品です。
  • MTL-F1,MQ-2XYD等の当社ピエゾステージに利用できます。
  • 拡張ユニットを搭載することで、クローズド制御も可能です。(ひずみゲージセンサー)
  • USBインターフェースを搭載する事で、PCからの制御も可能です。
  • 拡張ユニット、インターフェース搭載により、様々なご要望にお答えします。
チャンネル数電圧
(V)
平均電流
(mAavg)
周波数特性
(Hz)【-3dB】
3ch(うち右側1chは+150V固定)-15〜+150500100k

関連製品
MTL-F1 MQ-2TXYD
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  • ピエゾドライバM-26110をベースとしたチルトステージ機構付きステージ用の製品です。
  • MTL-F1,MQ-2XYD等の当社ピエゾステージに利用できます。
  • 拡張ユニットを搭載することで、クローズド制御も可能です。(ひずみゲージセンサー)
  • USBインターフェースを搭載する事で、PCからの制御も可能です。
  • 拡張ユニット、インターフェース搭載により、様々なご要望にお答えします。
チャンネル数電圧
(V)
平均電流
(mAavg)
周波数特性
(Hz)【-3dB】
3ch(うち右側1chは+150V固定)-15〜+150500100k

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