- ピエゾアクチュエーターを内蔵し振れ角度3mradを発生。θx・θyの2軸駆動。
- 光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。
- 高精度位置分解能・ミリ秒高速応答
| 型式 | 振れ角 (mrad) | 分解能 (μrad) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/um) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MQ-2TXYD | 3 | 0.02 | 3.1k | – | – |
| MQ-2TXYDS | 2.4 | 0.04 | 3.1k | – | ひずみゲージ |
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| 型式 | 振れ角 (mrad) | 分解能 (μrad) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/um) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MQ-2TXYD | 3 | 0.02 | 3.1k | – | – |
| MQ-2TXYDS | 2.4 | 0.04 | 3.1k | – | ひずみゲージ |