主なアプリケーション
- レーザー干渉計の高速レンズ位置決め など
MVシリーズ
- ピエゾアクチューエータを内蔵しZ軸ストローク20μm を発生します。
- 窓口径は4インチ相当と6インチ相当をご用意。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
- ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MV-20ZD4 20 0.1 400 – – MV-20ZDS4 16 1 400 – ひずみゲージ MV-20ZD6 20 0.1 400 – – MV-20ZDS6 16 1 400 – ひずみゲージ 関連製品
MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ- ピエゾアクチューエータを内蔵しZ軸ストローク20μm を発生します。
- 窓口径は4インチ相当と6インチ相当をご用意。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
- ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
型式 ストローク
(μm)分解能
(nm)共振周波数
(Hz)剛性
(N/μm)内蔵センサ MV-20ZD4 20 0.1 400 – – MV-20ZDS4 16 1 400 – ひずみゲージ MV-20ZD6 20 0.1 400 – – MV-20ZDS6 16 1 400 – ひずみゲージ 関連製品
MAP-BA4Zシリーズ MB-10シリーズ MAP-Fシリーズ
