対物レンズを光軸方向に移動させることでフォーカス調整することができます。ピエゾ素子により高分解能・高速な位置決めが可能です。弾性案内機構を採用しており摩擦・摩耗する箇所がありません。長期にわたり精度が安定でメンテナンスが不要です。各種顕微鏡・対物レンズに合わせたねじアダプタをご用意しており簡単に取付けできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度・高安定な位置決めが可能です。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MOB-A1 | 400 | 0.45 | 190 | – | – |
| MOB-A1S | 320 | 7 | 190 | – | ひずみゲージ |
| MOB-A1C | 320 | 4 | 190 | – | 静電容量 |
| MOB-A2 | 800 | 0.5 | 130 | – | – |
| MOB-A2S | 640 | 11 | 130 | – | ひずみゲージ |
| MOB-A2C | 640 | 6 | 130 | – | 静電容量 |
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| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MOB-A1 | 400 | 0.45 | 190 | – | – |
| MOB-A1S | 320 | 7 | 190 | – | ひずみゲージ |
| MOB-A1C | 320 | 4 | 190 | – | 静電容量 |
| MOB-A2 | 800 | 0.5 | 130 | – | – |
| MOB-A2S | 640 | 11 | 130 | – | ひずみゲージ |
| MOB-A2C | 640 | 6 | 130 | – | 静電容量 |