- 対物レンズを光軸方向に移動させフォーカス調整が可能。
- 耐湿ピエゾ素子により高分解能・高速な位置決め。
- 弾性案内機構を採用し摩擦・摩耗する箇所がなく真直性が高い。
- 長期にわたり精度が安定、メンテナンス不要。
- 各種顕微鏡・対物レンズに合わせたねじアダプタをご用意。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度・高安定な位置決めが可能。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MOB-K1 | 500 | 0.5 | 170 | – | – |
| MOB-K1C | 400 | 5 | 170 | – | 静電容量 |
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- 耐湿ピエゾ素子により高分解能・高速な位置決め。
- 弾性案内機構を採用し摩擦・摩耗する箇所がなく真直性が高い。
- 長期にわたり精度が安定、メンテナンス不要。
- 各種顕微鏡・対物レンズに合わせたねじアダプタをご用意。
- 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度・高安定な位置決めが可能。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MOB-K1 | 500 | 0.5 | 170 | – | – |
| MOB-K1C | 400 | 5 | 170 | – | 静電容量 |