MD-140シリーズ

RoHS 6物質非含有対物レンズフォーカス用ピエゾアクチュエータ
  • 顕微鏡のレボルバー・対物レンズ間に取付けて対物レンズを光軸方向に動かし、高精度・高速なレンズフォーカスが可能。
  • 変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、高精度な動作を発生。
  • 各メーカー顕微鏡に接続できるように各種ねじアダプタが付属
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能・ローコスト
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MD-140L1800.21200.15
MD-140LS14431200.15ひずみゲージ
MD-140LC1441.51200.15静電容量

関連製品
MD-100シリーズ MOB-A MOB-E1
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  • 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、高精度な動作を発生。
  • 各メーカー顕微鏡に接続できるように各種ねじアダプタが付属
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能・ローコスト
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MD-140L1800.21200.15
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