- 顕微鏡のレボルバー・対物レンズ間に取付けて対物レンズを光軸方向に動かし、高精度・高速なレンズフォーカスが可能。
- 変位拡大機構を内蔵しストローク180μmを出力。
- 一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現、高精度な動作を発生。
- 各メーカー顕微鏡に接続できるように各種ねじアダプタが付属
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
- ミリ秒高速応答・高精度位置分解能・ローコスト
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MD-140L | 180 | 0.2 | 120 | 0.15 | – |
| MD-140LS | 144 | 3 | 120 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MD-140LC | 144 | 1.5 | 120 | 0.15 | 静電容量 |
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- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
- ミリ秒高速応答・高精度位置分解能・ローコスト
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|---|---|---|---|---|---|
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| MD-140LS | 144 | 3 | 120 | 0.15 | ひずみゲージ |
| MD-140LC | 144 | 1.5 | 120 | 0.15 | 静電容量 |