Q6:オープンループとクローズドループでのクリープの違い

2020年4月23日

A6:オープンループとクローズドループではクリープにより静定性に大きな違いがあります。

1.オープンループの場合
 クリープをセンサ等で補正せず使用するため、静定性は悪くなりますが比較的安価となります。

2.クローズドループの場合
 弊社クローズドループではクリープをひずみゲージセンサ又は静電容量型センサを使い補正し、
 精度を高めています。

2-1.ひずみゲージセンサの場合
 接触型で可動部に接着して測定しています。
 センサと可動部に接着剤が介在する影響かクリープ現象が出る可能性があります。
 ただ、クリープがどの程度出るかは、製品や使用方法により異なります。

2-2.静電容量センサの場合
 非接触型でピエゾアクチュエータ、ステージに内蔵され、
 可動部の空間を測定しているため、ひずみゲージよりも精度が高くなります。
 ただし、ひずみゲージセンサと比べ価格が高くなります。

参考程度になりますがひずみゲージセンサと静電容量型センサの比較動画がありますので、ご参照ください。

「歪ゲージセンサ、静電容量センサのクリープ」

「クリープ」とは

ピエゾ素子が持つ物性のひとつです。
クリープとは目標変位量で電圧の入力を止めても、変位が続いてしまうことです。
例) 変位量100μmのピエゾ素子を使用するとします。
  0μm→100μm変位させるために0Vから150Vの印加をとめたとしても、
  変位が100μmで止まらず徐々に変位が変わってしまうことです。

何かご不明な点等ございましたらお気軽にご連絡ください。
ご質問をお待ちしております。

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