MN-8000XD/6500ZD

RoHS 6物質非含有ステッピングピエゾステージ
  • サブμmのステップ変位繰り返し(粗動モード)で最大ストローク8mm(X),6.5mm(Z)、更に、滑らか変位(微動モード)で最大20μm。
  • 小型軽量なため光学顕微鏡ステージやSEMに容易にセット。
  • ストローク,サイズ,非磁性材料化等、用途に合わせたカスタマイズにも対応可能。
型式ストローク
(μm)
最小ステップ
(μm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MN-8000XD80000.1
MN-6500ZD65000.1
RoHS 6物質非含有ステッピングピエゾステージ
  • サブμmのステップ変位繰り返し(粗動モード)で最大ストローク8mm(X),6.5mm(Z)、更に、滑らか変位(微動モード)で最大20μm。
  • 小型軽量なため光学顕微鏡ステージやSEMに容易にセット。
  • ストローク,サイズ,非磁性材料化等、用途に合わせたカスタマイズにも対応可能。
型式ストローク
(μm)
最小ステップ
(μm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MN-8000XD80000.1
MN-6500ZD65000.1
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