ML-20シリーズ

1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
  • XY軸に20μmのストロークを出力。
  • 6mmの薄型、可動部には15mmの透過窓口。
  • 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
ML-20XYL200.22.1k0.8
ML-20XYLC160.52.1k0.8静電容量
1・2・3軸透過窓付きピエゾステージ
  • XY軸に20μmのストロークを出力。
  • 6mmの薄型、可動部には15mmの透過窓口。
  • 動作は摩擦がなく直進性に優れ、真直性に優れます。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
ML-20XYL200.22.1k0.8
ML-20XYLC160.52.1k0.8静電容量
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