M-3917

3軸ナノマニピュレータシステム

MN-8000XD:2台+MN-6500ZD:1台、専用ドライバ、専用操作BOX、固定台によるシステムです。

  • 粗動モードストローク8mm(XY軸)、6.5mm(Z軸)
  • 微動モード(各軸)ストローク20μm、分解能0.5nm
  • 小型軽量なためSEMに容易にセットできます。
型式ストローク
(μm)
最小ステップ
(μm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MN-8000XD(XY軸)80000.1
MN-6500ZD(Z軸)65000.1

3軸ナノマニピュレータシステム

MN-8000XD:2台+MN-6500ZD:1台、専用ドライバ、専用操作BOX、固定台によるシステムです。

  • 粗動モードストローク8mm(XY軸)、6.5mm(Z軸)
  • 微動モード(各軸)ストローク20μm、分解能0.5nm
  • 小型軽量なためSEMに容易にセットできます。
型式ストローク
(μm)
最小ステップ
(μm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MN-8000XD(XY軸)80000.1
MN-6500ZD(Z軸)65000.1

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