MVシリーズ

RoHS 6物質非含有干渉計用ピエゾステージ
  • ピエゾアクチューエータを内蔵しZ軸ストローク20μm を発生します。
  • 窓口径は4インチ相当と6インチ相当をご用意。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MV-20ZD4200.1400
MV-20ZDS4161400ひずみゲージ
MV-20ZD6200.1400
MV-20ZDS6161400ひずみゲージ
RoHS 6物質非含有干渉計用ピエゾステージ
  • ピエゾアクチューエータを内蔵しZ軸ストローク20μm を発生します。
  • 窓口径は4インチ相当と6インチ相当をご用意。
  • 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
  • ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
型式ストローク
(μm)
分解能
(nm)
共振周波数
(Hz)
剛性
(N/μm)
内蔵センサ
MV-20ZD4200.1400
MV-20ZDS4161400ひずみゲージ
MV-20ZD6200.1400
MV-20ZDS6161400ひずみゲージ
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