ピエゾドライブ増幅器（ピエゾコントローラー）／OEM開発
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変位フィードバック制御 XYピエゾステージ
Ｍ−２６８９
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精密位置決めに最適！

  仕様
形　　式　　名

M-2689　(M2-150LCV3)
ＸＹストローク 150μm （±75μm）
制御電圧 -7.5V 〜 +7.5V　(BNC)
駆動分解能 4nm
応答 DC 〜 10Hz

繰返し精度

 ±0.03％（FS）
非直線性 ±0.2％ （FS）

オフセット調整範囲

10回転ダイアルにて±75μm
変位モニタ出力 0.1V／μm　(BNC)
許容荷重 500ｇ
変位センサー 静電容量型
寸法 ステージ部　　　115×20×115
コントローラ部　210×150×280　（ＷＨＤ）

変位フィードバック制御については技術資料
「５．変位フィードバック精密位置決め制御」を参照ください
更新日：2007/7/6