ピエゾドライブ増幅器（ピエゾコントローラー）／OEM開発
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Ｚ軸アクチュエーター
ＭＺ−２００ＺＬ
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大変位260μｍストローク
小型　（変位軸寸法　35mm）
ローコスト
高い変位分解能0.2nm

積層型ピエゾ素子と変位拡大機構を組み合わせたアクチュエーターです。小型寸法（60×35×15）でありながら、260μｍの大きな変位ストロークを発生します。一体弾性機構のため動作に摩擦がなくメンテナンスフリー。ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。精密位置決め用途には変位センサー内蔵タイプ（変位フィードバック制御※1）が最適です。

※1：変位フィードバック制御については技術資料
「５．変位フィードバック精密位置決め制御」を参照ください
  仕様
アプリケーション例
顕微鏡観察における試料の微動操作
マイクロマニピュレーション
微動位置決め
任意微小振動の発生源		 ピエゾ製品およびピエゾドライバをお選びの際には弊社技術資料もご覧ください。
オプション・カスタム 動作例
・トッププレート／ベースプレート 
        （ステージ面積を大きくできます）
Top Plate　 4×M3　 ピッチ16
　　　　　     9×M2　 ピッチ10,20
Base Plate　4×ボルト穴（M3）　ピッチ32
　　　　 　     6×ボルト穴（M4）　ピッチ25,50     

・その他
    変位センサ内蔵したクローズド変位制御
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