ピエゾドライブ増幅器(ピエゾコントローラー)/OEM開発
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1軸アクチュエーター
MC−140L
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ストローク140μm
組込用のピエゾアクチュエーター
変位軸本体寸法15mm
ローコスト
高い変位分解能0.2nm

積層型ピエゾ素子と変位拡大機構を組み合わせたアクチュエーターです。小型寸法(40×15×15)でありながら、140μmの大きな変位ストロークを発生します。一体弾性機構のため動作に摩擦がなくメンテナンスフリー。ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。
  仕様
   【動作例】
    
顕微鏡観察における試料の微動操作
マイクロマニピュレーション
微動位置決め
任意微小振動の発生源
ピエゾ製品およびピエゾドライバをお選びの際には弊社技術資料もご覧ください。
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