ストローク190μｍ
変位分解能0.2nm
ローコスト
組合せにより多軸構成できます

透過窓（φ30）付きピエゾステージです。一体弾性機構のため動作に摩擦がなくメンテナンスフリー。ストロークは190μｍでナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。精密位置決め用途には変位センサー内蔵タイプ（変位フィードバック制御）が最適です。