 ピエゾドライブ増幅器（ピエゾコントローラー）／OEM開発 |
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| ピエゾステージシリーズ ＭＡ−１４０ |
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 MA-140ZL |
ストローク190μｍ 小型（40×40×23.5）でありながら190μｍという大きなストロークを得られます。一体弾性機構のため動作に摩擦がなくメンテナンスフリー。ナノメーターレンジの高分解能動作とミリ秒高速応答。精密位置決め用途には変位センサー内蔵タイプ(変位フィードバック制御）が最適です。 |
| アプリケーション例 | |
| 顕微鏡観察における試料の微動操作 マイクロマニピュレーション 微動位置決め 任意微小振動の発生源 |
ピエゾ製品およびピエゾドライバをお選びの際には弊社技術資料もご覧ください。 |
| 組合せ例 | 動作例 |
・XY・XYZ構成など。 ・マイクロメータステージとの組合せ （粗動ストローク12ｍｍ＋ピエゾによる微動）  |
 MA-140XL |
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