 ピエゾドライバー（ピエゾコントローラー）／OEM開発 |
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| ピエゾステージ・ピエゾアクチュエーター | ||||||||||
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| １．ピエゾステージ（１軸・２軸・３軸・Z軸） ２．ピエゾアクチュエータ ３．窓付ピエゾステージ（XY軸ピエゾステージ） ４．チルトステージNew 5．特殊ピエゾステージ ①対物レンズフォーカス用ピエゾ ②駆動アンプ内蔵型１軸ピエゾアクチュエーター ③駆動アンプ・高圧電源内蔵型１軸ピエゾアクチュエーター ④加工用ピエゾアクチュエーター |
| 型式 | 軸 | ストローク （μm） |
静電 容量 （μF） |
重量 （ｇ） |
駆動電圧 （V) |
変位センサ | 備考 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MA-140 シリーズ |
１ | 190 | 1.5 | 120 | -10～150V | MA-140XL | － |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118S M-26118C |
|
| 190 | 120 | MA-140ZL | |||||||
| 152 | 140 | MA-140XLS | 歪ゲージ Strain Gauge |
||||||
| 152 | 140 | MA-140ZLS | |||||||
| 152 | 170 | MA-140XLC | 静電容量 Capacitive |
||||||
| 152 | 170 | MA-140ZLC | |||||||
| MB-140 シリーズ |
１ | 190 | 1.5 | 400 | -10～150V | MB-140XL | － |  MB-140XYZLS フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118S |
|
| 190 | MB-140ZL | ||||||||
| 152 | MB-140XLS | 歪ゲージ Strain Gauge |
|||||||
| 152 | MB-140ZLS | ||||||||
| ２ | 190 | 450 | MB-140XYL | － | |||||
| 190 | MB-140XZL | ||||||||
| 152 | MB-140XYLS | 歪ゲージ Strain Gauge |
|||||||
| 152 | MB-140XZLS | ||||||||
| ３ | 190 | 500 | MB-140XYZL | － | |||||
| 152 | MB-140XYZLS | 歪ゲージ Strain Gauge |
|||||||
| MB-10 シリーズ |
１ | 12 | 0.08 | 60 | -10～150V | MB-10XL | － |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118S |
|
| 12 | 60 | MB-10ZL | |||||||
| 9.6 | 60 | MB-10XLS | 歪ゲージ Strain Gauge |
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| 9.6 | 60 | MB-10ZLS | |||||||
| ２ | 12 | 90 | MB-10XYL | － | |||||
| 12 | 90 | MB-10XZL | |||||||
| 9.6 | 90 | MB-10XYLS | 歪ゲージ Strain Gauge |
||||||
| 9.6 | 90 | MB-10XZLS | |||||||
| ３ | 12 | 115 | MB-10XYZL | － | |||||
| 9.6 | 115 | MB-10XYZLS |
歪ゲージ Strain Gauge |
||||||
| ME-100 シリーズ |
1 | 115 | 82 | - | -10～150V | ME-100XD | － | フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118S/M-26109S M-26118C/M-26109C |
|
| 90 | - | ME-100XDS | 歪ゲージ Strain Gauge |
||||||
| - | ME-100XDC | 静電容量 Capacitive |
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| M2-150L シリーズ |
2 | 150 | 150V | M2-150L1V3 | |||||
| M2-150LCV3 | 静電容量 Capacitive |
フィードバック制御つき 分解能：２ｎｍ 専用コントローラM-2689 |
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| 高剛性 MFシリーズ |
1 | 20 | 1.8 | 440 | -10～150V | MF-20XD | － |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118C/M-26109C |
|
| 16 | 1.8 | 440 | MF-20XDC | 静電容量 Capacitive |
|||||
| 60 | 5.4 | 460 | MF-60XD | － | |||||
| 48 | 5.4 | 460 | MF-60XDC | 静電容量 Capacitive |
|||||
| 120 | 11 | 510 | MF-120XD | － | |||||
| 96 | 11 | 510 | MF-120XDC | 静電容量 Capacitive |
|||||
| MH-20 シリーズ |
２ | 20 | 14.5 | 1200 | -10～150V | MH-20XYD | － |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118C/M-26109C M-2629C |
|
| 16 | 14.5 | 1200 | MH-20XYDC | 静電容量 Capacitive |
|||||
| MI-100 シリーズ |
２ | 100 | 1.8 | 140 | -10～150V | MI-100XYL | － |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118S/M-2629S M-26118C/M-2629C |
|
| 80 | 1.8 | 140 | MI-100XYLS | 歪ゲージ Strain Gauge |
|||||
| 80 | 1.8 | 360 | MI-100XYLC | 静電容量 Capacitive |
|||||
| ３ | 100 | 1.8 | 180 | MI-100XYZL | － | ||||
| 80 | 1.8 | 180 | MI-100XYZLS | 歪ゲージ Strain Gauge |
|||||
| 80 | 1.8 | 440 | MI-100XYZLC | 静電容量 Capacitive |
|||||
| ML-20 シリーズ |
2 | 20 | 0.35 | 130 | -10～150V | ML-20XYL | － |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-2629C M-26118C |
|
| 16 | ML-20XYLC | 静電容量 Capacitive |
|||||||
| MMシリーズ | １ | 1400 | 58 | 1000 | -10～150V | MM-1000XL | － |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-2629C |
|
| 1120 | MM-1000XLC | 静電容量 Capacitive |
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| MNシリーズ |
X | 8000 | 1.6 | 52 | ※ | MN-8000XD | － | ※専用ドライバー（M-9212＋M-26111） との組合せで利用 | |
| Z | 6500 | 66 | ※ | MN-6500ZD | － | ||||
| MN-1500ZD | Z | 1500 | 1.25 | 17 | -10～50V | MN-1500ZD | － | ||
| MV-20ZD6 New 窓口径6インチ相当 |
Z | 20 | 5.4 | 5100 | -10～150V | MV-20ZD6 | － |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラM-26118S |
|
| 16 | MV-20ZDS6 | 歪ゲージ Strain Gauge |
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| MV-20ZD4 New 窓口径4インチ相当 |
Z | 20 | 5.4 | 2300 | -10～150V | MV-20ZD4 | － |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラM-26118S |
|
| 16 | MV-20ZDS4 | 歪ゲージ Strain Gauge |
|||||||
２．ピエゾアクチュエーター
| 型式 | 軸 | ストローク（μm） | 静電 容量 （μF） |
重量 （ｇ） |
駆動電圧 （V) |
変位センサ | 備考 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MJ150 シリーズ |
１ | 10 | 2.6 | - | 150 | MJ150-10ZDC22 | 静電容量 Capacitive |
 フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118C/M-26109C |
|
| 20 | 5.2 | MJ150-20ZDC22 | |||||||
| 30 | 7.8 | MJ150-30ZDC22 | |||||||
| 40 | 11 | MJ150-40ZDC22 | |||||||
| 10 | 5 | MJ150-10ZDC35 | |||||||
| 20 | 10 | MJ150-20ZDC35 | |||||||
| 30 | 15 | MJ150-30ZDC35 | |||||||
| 40 | 20 | MJ150-40ZDC35 | |||||||
| MJ1000 シリーズ |
１ | 5 | 0.085 | - | 1000 | MJ1000-5ZDC35 | 静電容量 Capacitive |
 フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118C+M-2648 または M-26109C |
|
| 10 | 0.21 | MJ1000-10ZDC35 | |||||||
| 20 | 0.31 | MJ1000-20ZDC35 | |||||||
| 30 | 0.42 | MJ1000-30ZDC35 | |||||||
| 50 | 0.65 | MJ1000-50ZDC35 | |||||||
| 60 | 0.9 | MJ1000-60ZDC35 | |||||||
| 5 | 0.12 | MJ1000-5ZDC45 | |||||||
| 10 | 0.3 | MJ1000-10ZDC45 | |||||||
| 20 | 0.45 | MJ1000-20ZDC45 | |||||||
| 30 | 0.6 | MJ1000-30ZDC45 | |||||||
| 50 | 0.9 | MJ1000-50ZDC45 | |||||||
| 60 | 1.3 | MJ1000-60ZDC45 | |||||||
| 80 | 1.8 | MJ1000-80ZDC45 | |||||||
| MUシリーズ New | 1 | 20 | 1.8 | 19 | -10～150V | MU-20AD12 | - |  |
|
| 40 | 3.6 | 27 | MU-40AD12 | ||||||
| 60 | 5.4 | 36 | MU-60AD12 | ||||||
| 80 | 7.2 | 44 | MU-80AD12 | ||||||
| 100 | 9 | 52 | MU-100AD12 | ||||||
| 120 | 10.8 | 61 | MU-120AD12 | ||||||
| MC-140L |
１ | 140 | 1.5 | 60 | -10～150V | － |  MC-140L動作例 ↑写真Clickで拡大表示 |
||
| MC-10L |
１ | 12 | 0.09 | 4 | -10～150V | - |  ↑写真Clickで拡大表示 |
||
| MZ-200ZL シリーズ |
Z | 260 | 3.0 | 50 | -10～150V |  MZ-200ZL動作例 ↑写真Clickで拡大表示 フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118S |
|||
| 260 | 3.0 | 50 | 歪ゲージ Strain Gauge |
||||||
| MZ-1300 New |
Z | 1300 | 29 | 300 | -10～150V | － |  |
||
| AEシリーズ |
１ | 4.6±1.5 | 0.09 | － | AE0203D04 | － |  |
||
| 9.1±1.5 | 0.18 | AE0203D08 | |||||||
| 17.4±2.0 | 0.35 | AE0203D16 | |||||||
| 9.1±1.5 | 0.75 | AE0505D08 | |||||||
| 17.4±2.0 | 1.4 | AE0505D16 | |||||||
３．窓付ピエゾステージ（XY軸ピエゾステージ）
| 型式 | 軸 | ストローク （μm） |
静電 容量 （μF） |
重量 （ｇ） |
最大駆動 電圧 （V) |
変位センサ | 備考 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| M2-150L シリーズ |
１．ピエゾステージをご参照下さい | |||||||
| MB-140 シリーズ |
１．ピエゾステージをご参照下さい | |||||||
| MB-10 シリーズ |
１．ピエゾステージをご参照下さい | |||||||
| ML-20シリーズ | １．ピエゾステージをご参照下さい | |||||||
| MV-20ZD6 | １．ピエゾステージをご参照下さい | |||||||
| MV-20ZD4 | １．ピエゾステージをご参照下さい | |||||||
４．チルトステージNew
| 型式 | 軸 | 振れ角 （mrad） 【】内 Closed |
静電 容量 （μF） |
重量 （ｇ） |
駆動電圧 （V) |
変位センサ | 備考 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MP-5TYZL シリーズ |
2 (θy、θz） |
6 【-】 |
1.8 | 380 | -10～150V | MP-5TYZL | - |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118S M-26118C |
||
| 6 【4.8】 |
380 | MP-5TYZLS | 歪ゲージ Strain Gauge |
|||||||
| 6 【4.8】 |
390 | MP-5TYZLC | 静電容量 Capacitive |
|||||||
| MQ-2TXYD シリーズ New |
2 (θx、θy） |
3 【－】 |
14.4 | 600 | 0～150V | MQ-2TXYD | - | |||
| MQ-2TXYDS | 歪ゲージ Strain Gauge |
|||||||||
５．特殊ピエゾステージ
①対物レンズフォーカス用ピエゾ
| 型式 | 軸 | ストローク （μm） |
静電 容量 （μF） |
重量 （ｇ） |
駆動電圧 （V) |
顕微鏡 タイプ |
変位センサ | 備考 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MD-100 シリーズNew |
1 | 150 | 7.2 | 440 | -10～150 | 正立 | MD-100L | - |  |
|
| 120 | 450 | MD-100LC | 静電容量 Capacitive |
|||||||
| MD-140 シリーズ |
１ | 180 | 1.5 | 65 | -10～150V | 正立 | MD-140L | - |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118S M-26118C |
|
| 144 | 92 | MD-140LS | 歪ゲージ Strain Gauge |
|||||||
| 144 | 100 | MD-140LC | 静電容量 Capacitive |
|||||||
| 180 | 65 | 倒立 | MD-140LN | - | ||||||
| 144 | 92 | MD-140LSN | 歪ゲージ Strain Gauge |
|||||||
| 144 | 100 | MD-140LCN | 静電容量 Capacitive |
|||||||
②駆動アンプ内蔵型１軸ピエゾアクチュエーター
| 型式 | 軸 | ストローク （μm） |
重量 （ｇ） |
制御電圧 （V) |
備考 | 価格 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| M-5520 | Z | 17 | 45 | 0～3.5V | ピエゾとアンプを一体型とし、 省スペースへの組込が可能！  写真：M-5520＆M-2834-3 |
価格表を ご請求ください |
|
| M-5521 | Z | 34 | 50 | 0～3.5V | |||
| 専用電源ユニット M-2834-3 |
入出力：3ch ピエゾ制御入力：０～3.5V 電源：AC１００V 寸法 W90×50×120 |
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③駆動アンプ・高圧電源内蔵型１軸ピエゾアクチュエーター
| 型式 | 軸 | ストローク （μm） |
重量 （ｇ） |
制御電圧 （V) |
備考 | 価格 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| M-5522 | １ | 17 | 45 | 0～5V | ピエゾとアンプ、高圧電源も内蔵。 外部電源（DCアダプタ）と ピエゾ制御信号０～５Vのみで制御可能！！  |
価格表を ご請求ください |
|
| M-5523 | １ | 34 | 50 | 0～5V |
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④加工用ピエゾアクチュエーター
| 型式 | 軸 | ストローク （μm） |
静電 容量 （μF） |
重量 （ｇ） |
駆動電圧 （V) |
変位センサ | 備考 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MO-10 シリーズ |
１ | 15 | 5.4 | 900 | -10～150V | MO-10XD | － |  フィードバック制御付きの場合： ※コントローラ M-26118S M-26118C |
|
| 12 | 900 | MO-10XDC | 静電容量 Capacitive |
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更新日：2010/6/3
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